二戰時期，出于軍事的需要，電液伺服閥首先出現在飛機的液壓控制系統上。伺服閥的高成本、對流體介質清潔度的苛刻要求及維護的困難，使其成為電液伺服技術推廣民用化的障礙。

伺服比例閥是比例技術和伺服技術結合的產物，早期出現的比例伺服閥，由于其關鍵的電一機轉換器仍然是控制電流僅幾十毫安的力電動機或力矩電動機，仍屬于伺服閥的范疇，也稱之為工業伺服閥。

電(dian)液伺(si)(si)服(fu)比(bi)(bi)(bi)(bi)例(li)(li)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)是一種性能和價格介于(yu)(yu)伺(si)(si)服(fu)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)和普通(tong)(tong)(tong)比(bi)(bi)(bi)(bi)例(li)(li)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)之間的(de)(de)控(kong)制(zhi)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)，它具(ju)有(you)傳統比(bi)(bi)(bi)(bi)例(li)(li)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)的(de)(de)特征，采用比(bi)(bi)(bi)(bi)例(li)(li)電(dian)磁鐵(tie)作為電(dian)機械轉換器；同時，它又采用伺(si)(si)服(fu)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)的(de)(de)加工(gong)(gong)工(gong)(gong)藝(yi)、零遮蓋閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)口(kou)，其(qi)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)心(xin)與(yu)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)套之間的(de)(de)配合(he)精(jing)度(du)與(yu)伺(si)(si)服(fu)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)相(xiang)當，無(wu)零位死區(qu)，頻率響應(ying)比(bi)(bi)(bi)(bi)一般(ban)比(bi)(bi)(bi)(bi)例(li)(li)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)高，而(er)可靠性高于(yu)(yu)一般(ban)伺(si)(si)服(fu)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)。電(dian)液比(bi)(bi)(bi)(bi)例(li)(li)伺(si)(si)服(fu)方向閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)對(dui)油液的(de)(de)清潔度(du)要求低于(yu)(yu)電(dian)液伺(si)(si)服(fu)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)，而(er)它的(de)(de)控(kong)制(zhi)性能已與(yu)普通(tong)(tong)(tong)電(dian)液伺(si)(si)服(fu)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)相(xiang)當，特別適用于(yu)(yu)各種工(gong)(gong)業領(ling)域的(de)(de)閉環控(kong)制(zhi)系統。值(zhi)得指出的(de)(de)是，電(dian)液伺(si)(si)服(fu)比(bi)(bi)(bi)(bi)例(li)(li)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)還有(you)一個(ge)普通(tong)(tong)(tong)伺(si)(si)服(fu)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)不(bu)易實現的(de)(de)附加特性。當閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)的(de)(de)電(dian)源失(shi)效，電(dian)磁鐵(tie)失(shi)電(dian)時，由于(yu)(yu)彈簧的(de)(de)作用，能使(shi)閥(fa)(fa)(fa)(fa)(fa)心(xin)處于(yu)(yu)一個(ge)確定的(de)(de)位置，從而(er)使(shi)其(qi)4個(ge)通(tong)(tong)(tong)口(kou)具(ju)有(you)固定的(de)(de)通(tong)(tong)(tong)斷形式。

隨著(zhu)伺(si)服比(bi)例技術的不(bu)斷發展和(he)創新(xin)，以(yi)及和(he)電(dian)子、計算機技術的緊密結(jie)合，伺(si)服比(bi)例閥(fa)已可以(yi)和(he)伺(si)服閥(fa)相媲(pi)美，同(tong)時(shi)由于其具有(you)傳統(tong)比(bi)例閥(fa)可靠、耐用、使用維護(hu)成本(ben)低的優點，必(bi)將(jiang)使伺(si)服技術在工業領域的廣泛使用成為(wei)現實，也(ye)將(jiang)紿(dai)用戶帶來明顯(xian)的經濟效益。